中国首台套直径700mm超精密数控磨床研发成功

2021年5月18日，北京博鲁斯潘精密机床有限公司与中国科学院长春光机所国望光学杨怀江博士团队合作研发的光刻机物镜系统超精密磨床ULTR-700VG通过国家机床质量监督检验检测中心检测。该磨床精度0.1~0.2μm，优化环境干扰，可以稳态到0.1μm。该类高精尖超精密数控机床对我国芯片、光学、航空航天、国防工业突破国外封锁,实现高精尖技术与装备的自主可控发展，具有重要的战略意义和经济意义。

该超精密机床工作台直径700mm，X轴行程：> 350mm、Z轴行程：>250mm、X轴定位精度：3μm/350mm(VDI 3441)、X轴重复定位精度：+/-1μm(VDI 3441)、Z轴定位精度：1μm/250mm(VDI 3441)、Z轴重复定位精度：+/-0.1μm(VDI 3441)、X轴直线度：1μm/100mm，3μm/350mm、Z轴直线度：1μm/100mm，2μm/250mm、X轴与工作台平行度：2μm/350mm、Z轴与工作台垂直度：2μm/250mm、X,Z轴最小可执行位移为0.1μm。磨削500mm直径的合金钢零件的平面度以及双面平行度达到0.2微米；该超精密数控机床是高刚度的工程化实用产品，可以广泛应用于我国IC电路、光学工业、航空航天、国防等精密超精密制造领域的批量化生产。